类石墨涂层的研究进展
蒋晓涵1,马迅1,刘平1,王静静1,张柯1,马凤仓1,杨文艺2,李伟1 (1.上海理工大学材料与化学学院; 2.上海交通大学医学院附属第一人民医院 心血管临床医学中心)
摘要: 类石墨(GLC)涂层具有优异的摩擦学性能和较低的内应力,其摩擦系数小、磨损率低,可以作为减少运动部件摩擦磨损、延长使用寿命的保护涂层的候选材料之一,在机械工程、医疗和电子等领域具有广泛的应用潜力。类石墨涂层与类金刚石(DLC)涂层同属于非晶碳涂层,差异在于sp2和sp3键的含量,其制备方法、结构和性能都有明显的不同。类石墨涂层以sp2杂化为主,目前研究者们对其结构和性能及其掺杂和应用进行了大量的研究。本文综述了类石墨涂层的研究成果、分析了掺杂对类石墨涂层性能的影响、列举了不同类石墨涂层的应用范围,旨在为开发更合适的类石墨涂层提供参考,最后对类石墨涂层的研究方向及相关技术的研究发展进行了展望。
关键词:类石墨涂层; 结构性能; 掺杂; 制备方法; 应用
目录介绍
1 GLC涂层的结构特性
1.1 GLC涂层的结构
1.2 GLC涂层的特性
2 GLC涂层的掺杂
2.1 Cu掺杂GLC涂层
2.2 Ag掺杂GLC涂层
2.3 Cr掺杂GLC涂层
2.4 Ti掺杂GLC涂层
2.5 其他金属元素掺杂GLC 涂层
2.6 N掺杂GLC涂层
3 制备方法
3.1 非平衡磁控溅射技术
3.2 高功率脉冲磁控溅射技术
3.3 直流磁控溅射法
3.4 等离子体辅助化学气相沉积技术
3.5 复合技术
4 类石墨涂层的应用
4.1 机械工程应用
4.2 生物医学应用
4.3 电子领域应用
5 结论与展望
5.1 结论
5.2 展望
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