非晶合金薄膜的复合强韧化研究进展

柯松,陈卓坤,艾诚,李尧,虢婷,孙志平 (长安大学材料科学与工程学院)
摘要:随着电子行业向便携化、智能化、柔性化方向不断发展,非晶合金薄膜由于强度和硬度高、耐磨损及耐腐蚀性好、表面粗糙度低等诸多性能优势,在微纳机电系统、传感器和生物医学方面显示出巨大的应用潜力,成为国内外炙手可热的高新技术材料之一。然而,剪切局域化和应变软化导致的室温脆性是非晶合金薄膜的致命问题,严重制约着其在结构工程领域中的广泛应用。因此,非晶合金薄膜的强韧化设计是目前的研究热点和前沿课题。近年来,随着生产工业和研发技术不断进步,各种新型非晶合金薄膜材料不断涌现。特别地,复合化具有高度的设计性和可控性,在非晶合金薄膜的强韧化研究方面得到广泛关注。本文回顾了非晶合金复合薄膜的几种主要结构设计策略,围绕“微观结构-力学性能-强韧化机制”的本构关系,重点阐述了不同微观结构对非晶合金薄膜力学性能和变形机理的影响,并对该课题研究进程中所面临的主要问题和挑战进行了展望。
关键词:非晶合金,强韧化,复合材料,变形机制,力学行为

目录介绍

0 引言

1 非晶合金薄膜的脆性断裂与复合强韧化策略

1.1 尺寸效应与脆性断裂

1.2 复合强韧化策略

2 非晶合金复合薄膜的主要制备技术

2.1 磁控溅射法

2.2 离子束沉积法

2.3 电沉积法

3 内生弥散第二相的非晶合金复合薄膜

3.1 第二晶相体积分数

3.2 第二晶相形状和分布

3.3 第二晶相尺寸

4 纳米多层结构的非晶合金复合薄膜

4.1 非晶/晶体A/C纳米复合多层膜

4.2 非晶/非晶A/A纳米复合多层膜

5 结语与展望

 

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