中国先进半导体材料及辅助材料发展战略研究

“先进半导体材料及辅助材料”编写组
摘要:目前,以SiC、GaN 为代表的第三代半导体材料快速发展,我国亟需抓住战略机遇期,实现先进半导体材料、辅助材料的自主可控,保障相关工业体系安全。本文在分析全球半导体材料及辅助材料研发与产业发展现状的基础上,寻找差距,结合我国现实情况,提出了构建半导体材料及辅助材料体系化发展、上下游协同发展和可持续发展的发展思路,制定了面向2025 年和2035 年的发展目标。为推动我国先进半导体材料及辅助材料产业发展,提出了建设集成电路关键材料及装备自主可控工程,SiC 和GaN 半导体材料、辅助材料、工艺及装备验证平台,先进半导体材料在第五代移动通信技术、能源互联网及新能源汽车领域的应用示范工程,并对如何开展三项工程进行了需求分析,设置了具体的工程目标和工程任务。最后,为推动半导体产业的创新发展,从坚持政策推动,企业和机构主导,整合国内优势资源;把握“超越摩尔”的历史机遇,布局下一代集成电路技术;构建创新链,进行创新生态建设等方面提出了对策建议。
关键词:先进半导体材料;辅助材料;第三代半导体;2035

目录介绍

一、 前言

二、 全球半导体材料及辅助材料的研发与产业发展现状

(一)国外研发与产业发展现状

(二)国内研发及产业发展现状

三、 我国先进半导体材料及辅助材料的发展思路与目标

(一)发展思路

(二)发展目标

1. 2025 年发展目标

1)集成电路用半导体材料

2)功率器件用半导体材料

3)发光器件用半导体材料

4)光电探测材料

5)半导体产业制造/ 封装工艺和材料

2. 2035 年发展目标

1)集成电路用半导体材料

2)功率和高频器件用半导体材料

3)发光器件用半导体材料

4)光电探测材料

5)半导体产业制造/ 封装工艺和材料

四、推动先进半导体材料及辅助材料重大工程建设

(一)集成电路关键材料及装备自主可控工程

1. 需求与必要性

要对发展重点进行谨慎判断。

2. 工程目标

3. 工程任务

(二)SiC 和GaN 半导体材料、辅助材料、工艺及装备验证平台

1. 需求与必要性

2. 工程目标

3. 工程任务

1)晶体材料生长设备及其辅助原材料、零部件验证

2)晶体的切、磨、抛加工材料与设备验证

3)芯片工艺装备、工艺流程、原辅料与关键零部件验证

4)封装与检测装备、流程、原辅料与关键零部件验证

(三)先进半导体材料在5G、能源互联网及新能源汽车领域的应用示范工程

1. 需求与必要性

2. 工程目标

3. 工程任务

五、对策建议

(一)抓住战略发展机遇期,坚持政策推动、企业和机构主导,整合国内优势资源,推动产业有序发展

1. 发挥龙头企业引领作用,形成“链式集聚”

2. 器件切入,以点带面,有序推进

3. 建立分段平台,加快整线集成

4. 推动示范应用,提升国产化水平

(二)把握“超越摩尔”的历史机遇,布局下一代集成电路技术

(三)构建产业技术创新链,加快创新生态建设

1. 继续加强创新能力建设

2. 加快构建公共研发和科技服务平台,建设科技创新产业基地

3. 实施“技术原创、知识产权和标准”战略

4. 促进分层次、多类型、跨界创新人才队伍的聚集与合作

5. 拓展国际合作空间

 

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