超晶格涂层的制备、结构及性能研究进展

丁扬1，何涛1，杜向阳1，ALEXEY Vereschaka2，李健1，陈康1 (1.上海工程技术大学机械与汽车工程学院;2.俄罗斯科学院设计和技术信息学研究所)

摘要: 系统综述了超晶格涂层技术的研究进展，聚焦于制备工艺－结构－性能－应用的多因素耦合机制研究。概述了超晶格涂层的组合方式与特点，磁控溅射、多弧离子镀等制备工艺对超晶格涂层微观结构及性能的调控机制; 重点讨论了超晶格涂层的调制周期、界面结构、单层厚度3 大微观结构参数对超晶格涂层力学性能、耐腐蚀性、热稳定性、抗氧化性及电磁学和光学等性能的影响规律及作用机制; 介绍了超晶格涂层在刀具、传感器以及热电材料等领域的应用现状，并从成分结构设计、计算建模、性能协同优化机制等方面对超晶格涂层的未来发展方向进行了展望。

关键词: 超晶格涂层; 制备工艺; 微观结构; 性能特征