典型微纳制造技术在新型含能材料可控制备和表面改性中的应用研究进展

李琼1，秦利军1，2，李丹1，胡逸云1，冯昊１（1 西安近代化学研究所含能材料全国重点实验室；2西北工业大学化学与化工学院）

摘要：含能材料是武器装备发射、运载、毁伤和控制的主要能源，是实现国防安全战略的重要基石。为满足武器系统对高能、高效、高安全和能量输出精确可控新型含能材料的应用需求，亟需发展兼顾能量性能和安全性能的含能材料新技术，促进武器系统向信息化和智能化方向发展。微纳制造技术是当前各国争相发展的前沿制造技术，在泛半导体、新能源、新材料等领域已取得诸多重要应用。基于国内外相关研究，本文综述了以物理气相沉积技术、化学气相沉积技术、原子层沉积技术、等离子体技术为典型代表的先进微纳制造技术在新型含能材料领域的最新应用研究进展。首先介绍了各种先进微纳制造技术的原理和特点，分析了微纳制造技术在精确控制新型含能材料尺寸、形态、组成和结构方面的技术优势，重点阐述了微纳制造技术在新型含能材料可控制备和表面改性等方面的应用，最后提出了典型微纳制造技术在当前新型含能材料领域应用中面临的挑战以及未来发展方向。

关键词：含能材料；微机电系统；物理气相沉积；化学气相沉积；原子层沉积；等离子体技