半导体用高纯金制备技术及应用研究进展

杨善晓，尹昭锦，李继刚，王建辉，张峰，马志斌 (昆明贵金属研究所，贵研铂业股份有限公司稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室)

摘要：综述了目前制备高纯金的各种方法的原理及工艺，并对其优缺点进行了分析。化学还原分离法效率高、周期短，但酸耗大、污染严重；熔融氯化法对原料适应范围广，但存在氯化过程复杂、工艺难于精准控制和产品质量不稳定等不足；溶剂萃取法效率高、产品质量稳定，但试剂消耗大、有机污染严重和易燃易爆；电解法具有成本低、除杂效果好、产品纯度稳定性强及环境污染小的优点，但原料适应性相对较差、生产周期相对较长且会积压金。高纯金具体应用形式为键合用金丝、溅射靶材及高纯度金基合金，涉及电子、半导体及航空航天等领域。

关键词：贵金属冶金；高纯金；化学还原分离；熔融氯化；溶剂萃取；电解