超薄电镀金刚石切割片的研究状况

蒋燕麟1,2,秦丽芳3 （1.国家特种矿物材料工程技术研究中心；2.广西超硬材料重点实验室；3.灵川县潮田乡潮田初级中学）

摘要：超薄电镀金刚石切割片具有加工精度高、切缝窄、效率高、质量好的优势，在硬脆材料及精密器件的精密切割加工中具有广泛的应用。近年来，随着我国人工智能以及５Ｇ信息产业的快速发展，其核心部件———芯片产业受到越来越多的重视。在芯片的制备流程中，超薄电镀金刚石切割片发挥了重要作用。文章重点介绍了国内超薄电镀金刚石切割片的研究状况，并与国外产品进行了简单对照，提出了存在的一些不足，以期为超薄电镀金刚石切割片的研究提供参考。

关键词：超薄；电镀；金刚石切割片；制备方法；展望