钢铁材料新型等离子体渗氮工艺的研究现状
袁盛章,王海斗,董丽虹,刘彬,秦红玲
摘要: 传统等离子体渗氮存在着渗氮时间长、渗氮不均匀等问题,因此提高等离子体渗氮效果和渗氮速率是等离子体渗氮技术发展的重点方向。本文综述了活性屏等离子体渗氮的技术原理和近年来的发展特点,梳理了多元离子共渗、表面自纳米化预处理和预氧化3 种催化技术在传统等离子体渗氮过程中的作用机理和目前的发展现状。多种催化技术相结合的传统等离子体渗氮工艺和活性屏等离子体渗氮的催化工艺将是未来等离子体渗氮发展的重要方向。
关键词:活性屏等离子体渗氮; 多元离子共渗; 表面自纳米化; 预氧化
目录介绍
1 活性屏等离子体渗氮
2 传统等离子体渗氮催化技术
2.1 多元离子共渗
2.1.1 等离子体氮碳共渗
2.1.2 等离子体氮氧共渗
2.1.3 其他多元离子共渗方法
2.2 表面自纳米化预处理等离子体渗氮
2.3 预氧化预处理等离子体渗氮
3 结语
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