二类超晶格长波红外探测器研究进展
芦鹏飞1,2, 关晓宁1,2, 周峰1,2, 赵雅琪1,2, 罗煜1,2, 王坤1,2, 杨雪艳1,2, 张凡1,3, 张焱超2,4(1北京邮电大学集成电路学院;2北京邮电大学信息光子学与光通信全国重点实验室;3宁波威远光电研究院有限公司;4浙江超晶晟锐光电有限公司)
摘要:从理论基础、材料生长和芯片工艺三个方面,系统介绍二类超晶格(T2SL)长波红外探测器的设计与制备。在理论设计层面,人工智能(AI)技术通过构建高质量多模态数据库,实现对超晶格器件结构光电特性的高效预测,并开发融合物理先验的机器学习模型,在多目标约束下优化超晶格结构,从而显著加速了从材料设计到芯片制备的技术迭代。此外,重点探讨了传统仿真技术与AI 技术设计超晶格器件结构及预测光电特性的对比分析,并综述了国内外在单势垒、双势垒及量子级联三类典型T2SL 长波红外探测器方面的研究进展。最后,总结了全球主要企业在T2SL 探测器产业化方面取得的突破。该工作揭示了AI 技术在材料结构设计与性能预测中的关键作用,为实现T2SL 红外探测器性能高效预测与快速技术迭代提供了新范式。
关键词:二类超晶格;长波红外;人工智能;势垒结构
目录介绍
1 引言
2 T2SL 长波红外探测器的设计与制备
2.1 理论基础
2.1.1 k·p理论
2.1.2 AI技术与器件设计
1) AI驱动的材料与能带结构设计
2) AI辅助的器件建模与结构优化
3) AI驱动的制程优化与系统级协同设计
4) 北京邮电大学红外光电中心的相关工作
2.2 材料生长
2.3 芯片工艺
3 T2SL长波红外探测器的研究进展
3.1 单势垒长波红外探测器
3.2 双势垒长波红外探测器
3.3 量子级联长波红外探测器
3.4 小结
4 T2SL长波红外探测器的产业化进展
5 总结与展望
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