飞秒激光辅助化学刻蚀微纳结构及其应用

李婷， 顼晓仪， 范维文， 张勇（南京大学现代工程与应用科学学院，固体微结构物理国家重点实验室）

摘要：飞秒激光辅助化学刻蚀技术具有无需掩模、可在材料表面与内部实现任意形状加工等优势。该技术能够制备高精度、高密度、大面积、高深宽比的三维微纳结构，在芯片、生物、能源等多个领域有重要应用。首先综述在不同材料中飞秒激光辅助化学刻蚀的基本原理，之后介绍其在微光学元件、微流控器件、通孔技术、切割和微机械方面的应用，最后对未来发展进行展望。

关键词：飞秒激光直写；化学刻蚀；微纳结构；三维加工