晶圆级Micro-LED芯片检测技术研究进展

苏昊，李文豪，李俊龙，刘慧，王堃，张永爱，周雄图，吴朝兴，郭太良

摘要：随着微型氮化镓（GaN）发光二极管（LED）制造工艺的不断进步，Micro-LED 显示有望成为新一代显示技术并在近眼显示、大尺寸高清显示器件、柔性屏幕等领域大放异彩。在Micro-LED显示众多技术环节中，晶圆级Micro-LED芯片的检测是实现坏点拦截，提升显示屏良品率、降低整机制造成本的关键环节。针对大数量（百万数量级）、小尺寸（

关键词：Micro-LED；缺陷检测；接触型检测；无接触检测