砷化镓废料回收再生研究进展

于昊松1，3，4，田阳1，2，3，4，杨斌1，2，3，4，徐宝强1，2，3，4，陈秀敏1，2，3，4，史腾腾1，3 （1.昆明理工大学云南省有色金属真空冶金重点实验室；2.昆明理工大学省部共建复杂有色金属资源清洁利用国家重点实验室；3.昆明理工大学真空冶金国家工程研究中心；4.昆明理工大学冶金与能源工程学院)

摘要：随着科技的进步与发展，以砷化镓为代表的二代半导体材料已逐渐取代硅材料应用于电子通讯、国防、航空航天等领域。每年在砷化镓晶体制备、设计加工、产品应用环节都会产生大量废料函待处理。砷化镓废料作为含砷有毒废弃物，蕴藏着品位高、存量大的碑、资源，近年来砷化镓废料的清洁、高效回收受到广泛关注。从砷化镓产业链角度出发，总结了上、中、下游产生的砷化镓废料来源与成分间的差异，详细综述了砷化晶体切割废料、砷化镓加工废料、废旧砷化镓电子器件这3类砷化镓废料二次资源的回收工艺与现状，归纳了不同方法的技术指标及工艺特点，重点对真空热分解法处理砷化废料的相关研究进行了探讨，并展望了砷化废料回收技术的未来发展方向。

关键词：砷化镓废料；砷镓分离；二次资源；回收利用