高纯钽靶材的制备及其织构研究

吴孟海1,余涛1,朱芳2,冯美兵2,杨嘉奇3 (1.南昌大学 国际材料创新研究院;2.九江有色金属冶炼有限公司;3.长沙伟徽高科技新材料有限公司)

摘要: 根据国内外文献分析了晶粒度和织构对钽靶材溅射产出率的影响,认为晶粒细小且均匀的钽靶材具有较高的溅射产出率。采用高纯钽锭通过大变形锻造并结合轧制和真空退火制备钽靶材,并借助金相显微镜和EBSD 技术对钽靶材的微观组织、晶粒度和织构组成进行了分析。结果表明:通过增大铸锭锻造变形量可使钽靶材在厚度方向获得细小而均匀的晶粒,同时织构在厚度方向均匀地随机分布。

关键词: 高纯钽靶材;溅射产出率;大变形锻造;热处理;织构;晶粒度