中国生物微机电系统技术发展现状与展望

张传禹1, 蔡新霞2, 常凌乾3, 陈健2, 李天梁4, 刘景全5, 高伟卓1, 胡飞1, 秦咸明6, 吴德志7, 徐洪成1,张帅龙8, 韦学勇1,7（1.西安交通大学仪器科学与技术学院；2.中国科学院空天信息创新研究院；3.北京航空航天大学生物与医学工程学院；4.武汉理工大学机电工程学院；5.上海交通大学微纳电子学系；6.西安电子科技大学机电工程学院；7.厦门大学机电工程系；8.北京理工大学集成电路与电子学院）

摘要：生物微机电系统（Biomedical Microelectromechanical System, BioMEMS） 技术是将生物、机械、电子、物理、化学和信息等多学科交叉融合的前沿技术，其研究和应用极大地推动了生物医学领域技术的进步，并具有低成本产业化的潜力，已经成为世界各主要科技强国大力发展的领域。文章系统总结了BioMEMS在生物检测、医学治疗、微纳操纵等领域的前沿进展和国内外发展现状。总体而言，中国在该领域处于世界一流水平，特别是在材料开发、技术应用层面取得了显著成果。但同时也存在一些问题和发展瓶颈，例如，还需要进一步优化我国现有科研资助和人才培养体系来满足BioMEMS技术多学科交叉属性。文章针对性地提出了该领域未来发展趋势和政策建议，以期为中国后续生物微机电系统技术的发展提供参考。

关键词：生物微机电系统技术；发展现状；未来趋势；政策建议