氮化铝粉体工程的研究进展

冯关正1，3，周有福1，2，许文涛1.2，李亚男1,2 （1中国科学院福建物质结构研究所；2闽都创新实验室；3中国科学院大学）

摘要：电子技术微型化、轻型化、高集成和大功率的发展，对基板和封装材料提出更高要求。氮化铝陶瓷具有高导热性、绝缘性、热膨胀系数与半导体硅相近、机械强度高、化学稳定性好、无毒无害等优良特性，是理想的基板材料之一，具有很好的发展前景。高质量氮化铝粉体是制备高性能氮化铝陶瓷的关键。本文分别归纳介绍了微米/纳米氮化铝合成的新技术、新方法及其研究进展，并展望了氮化铝粉体合成的发展趋势。

关键词：氮化铝；粉体工程；高性能；合成