硅基GaAs系材料异质外延与硅基激光器研究动态

王俊， 翟浩， 王琦， 刘昊， 刘凯， 张翼东， 杨一粟， 黄永清， 任晓敏， 刘帅呈， 狄雨童（北京邮电大学信息光子学与光通信全国重点实验室）

摘要：随着近年来光通信、光计算和光传感等需求的爆发式增长，硅光子技术在芯片内（超短距离）和长距离两个尺度方向快速取代传统技术方案。作为硅光芯片核心技术的单片集成硅基光源（激光器）成为新一代大规模硅光集成芯片技术的关键。在简要回顾单片集成硅基GaAs 系激光器材料和器件的基础上，从硅基底GaAs/Si 材料、硅基GaAs 系量子阱激光器材料及器件、基于单片集成光源的硅光芯片级系统研究3 个层面，分别介绍和评析了相关主要节点研究工作情况，并着重介绍了面向实用化要求的无偏角硅基GaAs/Si 材料研究和更具挑战的高可靠性硅基量子阱激光器方面的研究进展。

关键词：硅基光电子；硅基外延激光器；量子阱激光器；量子点激光器；单片集成