玻璃内部激光改性特征的定位检测技术研究

赵效彬1，2，郑剑锋1，2，王狮凌3，王旭龙琦4，金秉文4，陈礼诚4，陈锋4， 吴兰1，2，刘东1，2，5（1浙江大学光电科学与工程学院极端光学技术与仪器全国重点实验室；2浙江大学杭州国际科创中心；3中国计量大学计量测试与仪器学院；4杭州利珀科技股份有限公司；5浙江大学基础交叉研究院）

4杭州利珀科技股份有限公司；5浙江大学基础交叉研究院）摘要：玻璃内部改性特征的位置偏离会降低其物理特性，影响后续工艺流程，制约光学及半导体领域的加工制造技术发展。改性特征与玻璃表面在散射和反射特性上存在显著差异，导致一次性定位检测难以实现。因此，提出一种基于谱域光学相干层析（SD-OCT）与双目视觉的一次性无损定位检测系统。该系统通过SD-OCT 获取玻璃上下表面的三维信息，利用双目视觉系统捕捉改性特征的侧向投影。通过构建双系统联合标定框架，求解空间坐标关系，从而实现对改性特征的定位。通过双系统分别对改性特征及玻璃上下表面进行成像，有效解决了散射与反射特性不一致时的一次性定位成像问题。实验表明，该系统对改性特征定位的最大偏差小于4 μm，符合主流微米级改性特征的检测要求。研究结果为玻璃内部激光改性特征的定位检测提供了新方法，可为光学微纳加工领域的工艺改良提供指导。

关键词：光学相干层析成像；激光改性；联合标定；定位检测