电弧等离子体制备过渡金属氮化物及应用

陈嘉乐1，2，3，张达1，2，3，解志鹏1，2，3，刘轶昌1，2，3，杨斌1，2，3，梁风1，2，3，（１昆明理工大学真空冶金国家工程研究中心；２昆明理工大学云南省有色金属真空冶金重点实验室；３昆明理工大学冶金与能源工程学院）

摘要：过渡金属氮化物由于其独特的物理和化学性质，如高硬度、高熔点、优良的导电性和化学稳定性，广泛应用于催化、能源存储、电子器件和生物医学等领域。电弧等离子体技术作为一种高效、绿色的制备技术，因反应温度高、产物纯度高、反应活性高以及可控性强而在过渡金属氮化物制备领域备受关注。本文介绍了电弧等离子体并探讨了其制备工艺对产物的影响，总结了过渡金属氮化物在涂层、催化剂、磁性制冷剂和超导领域的应用现状，展望了电弧等离子体制备过渡金属氮化物的发展趋势。未来的研究应将先进的表征技术和模拟计算方法相结合，深入理解材料的生长机理并提高材料的纯度和一致性，降低能耗和生产成本，以实现等离子体对过渡金属氮化物微观结构和性能的精确调控。

关键词：电弧等离子体；过渡金属氮化物；涂层；催化剂；磁性制冷剂；超导