传统光栅制备技术及非晶合金光栅制备研究进展

李春燕1,2,3，张亦舒2，侯少杰2，李春玲4，李晓1，2，寇生中1,3 （1.兰州理工大学省部共建有色金属先进加工与再利用国家重点实验室；2.兰州理工大学材料科学与工程学院；3.兰州理工大学温州泵阀工程研究院；4.兰州理工大学机电工程学院)

摘要：随着科技的飞速发展，越来越多的科学研究聚焦于微型领域，设计和制造的产品尺寸也越来越小，甚至达到了微纳米尺度。当物体的尺寸达到微纳米级别后，其光学性能会发生明显改变，对光的吸收和传输等特性都会产生极大的影响。光栅作为微纳元件的一种，有许多优异的特性，如分束、偏振、色散、相位等，是重要的光学器件。因此，被广泛应用于光通信技术、激光器、诊断测量等众多领域。伴随着科学技术的发展，人类对光栅的要求也不断的提高。基于此，研究学者们对光栅的加工工艺及其所用材料展开了一系列研究。介绍了光栅的定义、分类以及应用等，综述了传统光栅的制备技术和利用非晶合金制备光栅的研究现状及尚未解决的科学问题，并对非晶合金光栅未来的发展机遇与挑战进行了展望。为非晶合金在微机电系统领域的应用提供了理论基础，对推动非晶合金这一新型材料的工程化应用有重要的理论和实际意义。

关键词：光栅；非晶合金；表面图案化；衍射效率