氮化钼薄膜的制备、性能及其应用研究进展

童品森，魏宁，吴宏荣 （江南大学机械工程学院）

摘要：氮化钼作为过渡金属氮化物的典型代表，具有良好的导电性以及优异的力学性能、电化学性能，在催化、储能、集成电路、保护涂层等领域有着广泛的应用前景。然而，目前国内有关氮化钼薄膜的综述较少。首先总结了氮化钼的分子结构及其物理性能和力学性能；其次总结了氮化钼薄膜的主要制备方法，包括溶液法、溅射法、原子层沉积法以及化学气相沉积法等，归纳了各种氮化钼薄膜制备方法的优缺点及其适用的场景；最后，对氮化钼薄膜的潜在应用前景进行了总结和展望。

关键词：氮化钼薄膜； 物理性能； 力学性能； 制备方法； 应用