高纯钼粉的制备技术及研究进展

段琳琳1,2屈航1,2卜春阳1,2王宇晴1,2 （1 金堆城钼业股份有限公司技术中心;2 陕西省“四主体一联合”先进钼化合物功能材料校企联合研究中心）

摘要：随着电子行业的精细化发展，高纯钼因其薄膜应力小、高温稳定性好，导电性能良好，比阻抗低广泛应用于电子行业。本文系统概述了高纯钼粉的制备技术，包括高纯钼原料（钼酸铵、MoO3、MoCl5、Mo（CO）6、MoS3等）清洁化还原分解技术和普通钼粉电子束熔炼及等离子球化提纯技术，重点讨论了沉淀法、溶剂萃取法、离子交换法、结晶法等提高钼酸铵纯度的方法，指出了不同提纯方法存在的优势与不足，并就高纯钼粉制备技术及应用前景进行了总结与讨论。

关键词：高纯钼粉；三氧化钼；纯度；电子行业