光掩模及空白掩模行业研究

来源:华源证券 分析师:葛星甫

目录介绍

1. 光掩模:集成电路制造的光刻蓝本

1.1 光掩模是连接IC设计与制造的关键图形蓝本

1.2 光掩模广泛嵌入芯片制造等产业的核心工艺流程

1.3 光掩模制造的技术难点—多环节协同的高精度制造体系

1.4 先进制程推动光掩模产业迭代,精细度持续提升,价值量连续攀升

1.5 光掩模主要分苏打和石英两类,石英类广泛使用于集成电路制造中

1.6 光掩模是集成电路核心材料品类,2023年市场规模预计为95亿美元

2. 空白掩模:光掩模之核

2.1 空白掩模:光掩模之核

2.2 产品拆分:石英掩模版为核心,制程微缩驱动集成电路掩膜产业发展

2.3 空白掩模的发展:伴随制程演进,新式掩膜持续引入

2.4 空白掩模的工艺流程

2.5 技术难点:高平整度、更薄、更低缺陷率

2.6 掩模版中价值占比最高的原材料,2024年市场空间或达20亿美元以上

2.7 日韩公司垄断,国产化率低,亟待突破

3. 产业主要公司

3.1 龙图光罩:专业三方光掩模制造商

3.2 清溢光电:国内规模最大的光掩模制造商之一

4. 风险提示

 

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