金刚石/铜复合材料制备工艺及应用研究进展
谢文博1,孙嘉钰2,3,王海川1,齐菲1,范学良4,邱源2,王春举1(1.苏州大学机电工程学院;2.上海航天电子通讯设备研究所;3.上海市天基异构网络协同计算重点实验室;4.苏州大学轨道交通学院)
摘要:随着电子系统向高集成度、高功率密度方向发展,芯片散热成为关键挑战。金刚石/铜复合材料因其超高的导热系数和优良的可加工性等特点,成为第三代电子封装散热材料的核心候选。本文系统地综述了金刚石/铜复合材料高温高压法、等离子烧结法、真空热压烧结法与熔体浸渗法等工艺制备方法,分析了金刚石与铜的润湿行为、金刚石体积分数与粒径,以及制备参数对金刚石/ 铜复合材料导热系数的影响,总结了金刚石/铜复合材料的应用并对未来的发展进行了展望,为金刚石/铜复合材料的研制提供参考。
关键词:金刚石/铜复合材料;导热系数;制备技术;界面改性;热管理
目录介绍
1 金刚石/铜复合材料制备研究现状
1.1 高温高压法
1.2 等离子烧结法
1.3 真空热压烧结法
1.4 熔体浸渗法
2 金刚石/铜复合材料导热系数影响因素
2.1 金刚石/ 铜界面润湿行为研究现状
2.1.1 金刚石表面金属化
2.1.2 铜基体合金化
2.2 金刚石体积分数和粒径
2.3 烧结温度、压力与保温时间
3 金刚石/铜复合材料的应用
3.1 热沉
3.1.1 翅片热沉
3.1.2 微流道热沉
3.2 电子封装
4 总结与展望
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