高品级氮化铝粉体及其碳热还原氮化工艺研究进展

秦运璞，张智睿，赵勇智，王永，刘鸾，张一铭，徐海峰，吉晓霞，张泽鹏，王月隆，何庆，鲁慧峰，张德印，吴昊阳，浦恩祥，贾宝瑞，曲选辉，秦明礼

摘要：氮化铝（AlN）具有高导热、绝缘、低膨胀、无磁等优异性能，是半导体、电真空等领域高端装备的关键材料，特别是在航空航天、轨道交通、新能源装备、高功率LED、5G 通讯、电力传输、工业控制等领域功率器件中具有不可取代的作用。高品级粉体是制备高性能陶瓷的基础，氮化铝粉体的性质直接影响了后续成形、烧结等工艺以及材料的组织和性能。碳热还原氮化法制备氮化铝粉体具有纯度高、粒度细和烧结性好等特点，本文综述了氮化铝粉末的评价指标以及碳热还原氮化法制备氮化铝粉末的研究进展，提出未来研究与产业化的方向与趋势。

关键词：氮化铝；碳热还原氮化法；粉体制备；粉末指标