先进光学超精密制造技术现状、问题与建议

张鑫1,海阔2,李资政3,张瀛怀1,张斌智1,张云飞2,臧仲明2,曾鹏2,吴明涛2,李凯隆 2,闫力松4,陈太喜1,钱宜刚5,焦宏飞6 (1 季华实验室(先进制造科学与技术广东省实验室);2 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所;3 中山大学 物理与天文学院;4 华中科技大学 光学与电子信息学院 ;5 中天科技有限公司;6 同济大学 物理科学与工程学院)
摘要:随着激光核聚变、空间对地观测、深空探测、极紫外光刻等关键领域的不断发展,对高面形精度、高表面质量光学元件需求的不断增加,先进光学超精密制造技术已成为国家高端制造领域的核心支柱。文章围绕光学元件的材料制备技术、超精密成形、抛光、检测及表面处理技术等方面,阐述了国内先进光学超精密制造技术的研究现状,分析了国内该领域存在的问题及应对措施,对先进光学超精密制造技术的下一个新阶段进行了展望,希望能引发该领域研究的一些思考。
关键词:光学元件,超精密制造,复杂曲面,全频段

目录介绍

1 光学制造的重大需求与特点

1.1 光学制造重大需求

1.2 先进光学超精密制造特点

1)低频高精度

2)中频浅纹理

3)高频超光滑

4)姿态高精度

2 超精密制造技术发展现状

2.1 光学元件材料制备技术

2.2 超精密成形技术

2.3 超精密抛光技术

2.4 超精密检测技术

2.5 超精密表面处理技术

3 已有研究工作与存在问题

3.1 已有研究工作

3.2 存在的问题

1)技术研究水平不足

2)装备水平不足

3)产学研结合不够紧密

4 下一步工作建议

1)加强顶层设计与政策支持

2)突破关键材料与核心技术

3)提升装备制造能力

4)优化工艺与技术标准

5)加强产学研结合与成果转化

5 总结与展望

 

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