氧化钼电致变色薄膜与器件的研究进展

梅洪正，陈青山，杨明庆，牛春晖，吕勇(北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院)

摘要: 氧化钼作为一种典型阴极着色电致变色材料，具有制备方法简单、成本低、循环稳定性和电化学稳定性良好等优点，尤其是氧化钼还有着较短的变色响应时间和较低的生物毒害性，其电致变色薄膜与器件有着十分重要的研究与应用价值。概述了氧化钼薄膜的不同制备方法，包括物理气相沉积法、化学气相沉积法、喷雾热解法、电化学沉积法、水/溶剂热法、溶胶-凝胶法、朗缪尔-布洛杰特( LB) 沉积法和氧化剥离法，分析比较了不同制备方法的优缺点。在改善薄膜性能方面，总结了不同掺杂元素对氧化钼薄膜的影响，并进一步概述了氧化钼电致变色器件的研究进展。最后，就氧化钼薄膜及其器件在电致变色领域存在的问题及未来的研究和应用方向进行了讨论和展望。

关键词: 氧化钼; 薄膜; 器件; 制备方法; 电致变色