极紫外光学衍射显微成像技术与应用

徐月暑1,2，张睿泽1，柏凌1，胡占锐1，赵洲际1，周毅铖1，孙刚3，王向朝1,2，匡翠方1,2，刘旭1,2（1浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室；2浙江大学杭州国际科创中心极端光学技术与仪器研究院；3御微半导体技术有限公司）

摘要：极紫外波段凭借其极短波长及与原子内层电子结合能相近的光子能量，可在纳米尺度实现超越衍射极限的高分辨率成像，且具备元素特异性分析能力。极紫外光学衍射成像作为一种无透镜计算成像技术，通过记录样品的衍射图样并利用相位恢复算法重建样品结构，有效避免了极紫外光学元件加工困难与成本高昂的问题。本文将系统阐述极紫外衍射成像的物理原理，重点评述相干衍射成像与叠层成像等主流方法的重建机制与研究进展，总结其在多个前沿领域中的典型应用，并探讨该技术在光源、算法等方面面临的挑战，最后展望其在动态探测、三维成像及多模态融合等领域的未来发展。

关键词：极紫外；计算成像；相干衍射成像；叠层衍射成像