基于Au-Au键合的石墨烯压力传感器可靠性分析

摘要：随着MEMS技术的飞速发展，可靠性问题逐渐成为MEMS器件领域研究的重要问题。为了系统地研究石墨烯压力传感器在高温高湿环境下长时间工作的可靠性和稳定性，通过热处理（HT）、热贮存（HTS）和高温高湿（HTH）等负载环境因素评估石墨烯压力传感器的Au-Au键合质量及可靠性。热处理实验结果表明，退火后的机械强度和电学性能都略有变化。此外，长期稳定性实验表明，石墨烯电阻并无明显退化。因此，双重Au-Au键合具有较好的气密性和可靠性，使得传感器在不同负载环境下具有良好的稳定性。该研究可为石墨烯压力传感器在高温高湿等复杂环境下的应用提供参考。

交叉 2026年03月27日 1 点赞 0 评论 182 浏览

面向集成电路先进制程的二维信息材料与器件

摘要：随着集成电路技术的发展至3 nm 节点,摩尔定律接近其物理极限,传统芯片制程面临材料到器件的理论和技术瓶颈。二维信息材料凭借原子层厚度、低功耗等特性被产业界认为是1nm 及以下节点的核心材料,将助力芯片制程延续摩尔定律以及平面到三维的发展,与我国集成电路先进制程长期规划紧密相关。基于国家自然科学基金委员会第343期双清论坛,本文从材料—器件—异质集成多层次回顾了二维信息材料与器件的发展历史,总结了领域内所面临挑战,凝炼了未来5~10年的重大关键科学以及亟需布局的研究方向,进一步提出顶层设计的前沿研究方向和科学基金资助战略。

交叉 2026年01月21日 1 点赞 0 评论 295 浏览

基于金属衬底的石墨烯温度传感器仿真

摘要:针对动力设备实时温度测量的需求,研究了一种快响应、宽温区的石墨烯温度传感器。传感器芯片由金属衬底、绝缘层、金属电极层、石墨烯传感层、保护层和金属抗氧化涂层组成。以热导率高的金属为衬底,另外在传统的陶瓷保护层的基础上增加四元金属抗氧化涂层,能够有效阻挡高温下氧气的渗透。利用有限元软件进行分析,当温度由室温升高到1 200 ℃时,采用硬质合金、氧化铝、氮化硅为衬底的芯片响应时间分别为55、660、75 ms,衬底热导率越高,响应速度越快。传感器芯片各层厚度的变化对热应力的影响极大,当金属衬底厚1 000 μm、绝缘层厚0.1 μm、保护层厚0.5 μm、氮化钛打底层厚0.04 μm、氮铝化钛过渡层厚0.3 μm、钛铝硅氮功能层厚0.7 μm、氮化钛硅着色层厚0.5 μm 时,最大热应力较小,为24 966 MPa。该研究为拓展石墨烯温度传感器的耐温范围提供新的思路,为石墨烯传感器应用于高温瞬态测量提供可行性方案。

交叉 2025年09月11日 1 点赞 0 评论 325 浏览

2050铝锂合金板材拉伸力学性能三维各向异性

摘要：随着铝锂（Ａｌ－Ｌｉ）合金在航空航天领域的应用愈发广泛，对其各向异性研究有助于Ａｌ－Ｌｉ合金的进一步开发利用。采用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）、透射电子显微镜（ＴＥＭ）、Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）、电子背散射衍射（ＥＢＳＤ）等对Ｔ３态２０５０Ａｌ－Ｌｉ合金板材进行显微观察，通过拉伸实验对合金板材轧制方向、垂直轧制方向、厚度方向的拉伸力学性能三维各向异性进行研究.。关键词：２０５０Ａｌ－Ｌｉ合金；轧制；力学性能；各向异性；织构

交叉 2024年01月09日 0 点赞 0 评论 280 浏览

基于纳米孔结构的超高压石墨烯压力传感器设计

摘　要： 设计了一种基于纳米孔结构的超高压石墨烯压力传感器。由于氮化硼的六方晶体结构与石墨烯的晶体结构高度相似， 该传感器采用氮化硼／ 石墨烯／ 氮化硼的石墨烯复合异质敏感薄膜作为压力传感器的敏感材料， 利用石墨烯薄膜材料的压阻效应对压力进行检测。可为超高压石墨烯压力传感的结构设计和性能优化提供一定参考。关键词： 石墨烯； 纳米孔； 超高压； 理论模型； 有限元仿真

交叉 2024年01月09日 0 点赞 0 评论 408 浏览

液压元件及系统智能化发展现状及趋势思考

摘要：第四次工业革命利用信息化技术促进产业变革，将带我们进入智能化时代。由于液压系统作为核心动力和控制部分，广泛应用于先进制造、航空航天、海洋等重大装备，工业装备的智能化必然会要求液压元件及系统实现智能化。关键词：液压系统；智能化；感知；调控；运维

交叉 2024年01月09日 0 点赞 0 评论 746 浏览

高性能镁合金的研究进展

摘要：追求更高强度的材料一直是结构材料研究人员的目标，尤其是轻质结构材料-镁合金，被誉为“21 世纪最轻的结构合金”。低密度、高性能镁合金在各种技术应用中非常具有吸引力，特别是在镁合金中加入主要合金化元素后，其强度、塑性得到了极大提升，从而促进了不同合金体系的镁合金发展。关键词：高强度；铸造镁合金；变形镁合金；超轻；稀土镁合金

交叉 2024年01月09日 0 点赞 0 评论 380 浏览

基于B7-H3 靶点的放射免疫治疗研究进展

［摘要］ 近年来，放射免疫治疗( radioimmunotherapy，ＲIT) 因其精准靶向治疗而备受关注。寻找特异性免疫治疗靶点分子用于放射免疫治疗是一种极具临床应用价值的治疗模式。B7-H3( CD276) 是B7 家族中的一种免疫检查点，因其独特的表达特性和生物学功能，成为ＲIT 药物的一个理想候选分子。［关键词］ B7-H3; CD276; 放射免疫治疗; 靶向治疗; 肿瘤

交叉 2024年01月09日 0 点赞 0 评论 248 浏览

固态电解质锂离子输运机制研究进展

摘要：全球环境问题推动了可充电锂电池技术的飞速发展. 与液态电解液相比, 固态电解质不易燃, 构筑所得固态电池的安全性能得以提升. 如果能够理解固态电解质中的离子输运行为, 就能精准调控固态电池锂的动力学稳定性和倍率性能. 随着计算机技术的快速发展, 原子尺度模拟技术成为理解材料离子输运的重要手段。关键词：固态电池； 固态电解质； 密度泛函理论计算； 分子动力学模拟

交叉 2024年01月09日 0 点赞 0 评论 391 浏览

基于深度学习的超材料设计及光纤光束控制研究进展

摘要：超材料设计和光纤光束控制是光场调控研究的两个重要议题。传统方法取得一定研究进展的同时，也面临着有效性和适应性的问题。为弥补传统方法的不足，研究者们尝试将深度学习方法应用于以上两个议题。基于深度学习进行超材料设计和光纤光束控制的方法，具有速度快和自动化程度高的优势，为光场调控集成化、智能化提供新思路。关键词：材料；光纤光学；神经网络；光场调控；超材料设计；光学系统控制

交叉 2024年01月09日 0 点赞 0 评论 409 浏览