瞬态超高温MEMS石墨烯温度传感器设计
摘 要: 针对炮膛、航空发动机等设备对于超高温瞬态温度测量的需要, 设计了一种量程达3000 ℃ 的瞬态石墨烯温度传感器, 传感器由石墨烯敏感芯片、管帽、管壳三部分组成, 利用管帽传热的同时进行热阻隔。本论文设计的石墨烯MEMS 温度传感器具有量程宽、针对性强、稳定性高等特点, 可为石墨烯传感器应用于超高温瞬态测量领域提供可行性方案。关键词: 瞬态超高温; 石墨烯; 热阻效应; 外推法; 温度传感器
目录介绍
1 工作原理
2 石墨烯温度传感器结构设计
2. 1 石墨烯温度传感器结构模型
2. 2 温度传感器传热膜片尺寸设计
2. 3 强度安全校核
2. 4 温度传感器敏感芯片结构设计
2. 5 温度传感器连接稳定性与外推模型
3 石墨烯温度传感器工艺设计
4 结论
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