基于纳米孔结构的超高压石墨烯压力传感器设计

摘　要： 设计了一种基于纳米孔结构的超高压石墨烯压力传感器。由于氮化硼的六方晶体结构与石墨烯的晶体结构高度相似， 该传感器采用氮化硼／ 石墨烯／ 氮化硼的石墨烯复合异质敏感薄膜作为压力传感器的敏感材料， 利用石墨烯薄膜材料的压阻效应对压力进行检测。可为超高压石墨烯压力传感的结构设计和性能优化提供一定参考。关键词： 石墨烯； 纳米孔； 超高压； 理论模型； 有限元仿真