基于Au-Au键合的石墨烯压力传感器可靠性分析

张群1，2，王俊强1，2，李云飞2，曹咏弘2（1.中北大学仪器与电子学院）（2.中北大学前沿交叉科学研究院）

摘要：随着MEMS技术的飞速发展，可靠性问题逐渐成为MEMS器件领域研究的重要问题。为了系统地研究石墨烯压力传感器在高温高湿环境下长时间工作的可靠性和稳定性，通过热处理（HT）、热贮存（HTS）和高温高湿（HTH）等负载环境因素评估石墨烯压力传感器的Au-Au键合质量及可靠性。热处理实验结果表明，退火后的机械强度和电学性能都略有变化。此外，长期稳定性实验表明，石墨烯电阻并无明显退化。因此，双重Au-Au键合具有较好的气密性和可靠性，使得传感器在不同负载环境下具有良好的稳定性。该研究可为石墨烯压力传感器在高温高湿等复杂环境下的应用提供参考。

关键词：石墨烯；可靠性；Au-Au键合