真空气体静压轴承研究进展

吴剑威1，2，王继尧1，2，郑健1，2，赵鹏越1，2，高席丰1，2， 温众普3 (1.哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所；2.超精密仪器技术及智能化工业和信息部重点实验室；3.北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心)

摘要：随着气体静压润滑技术的不断发展及兼容真空工作环境的迫切需求，基于密封设计的真空气体静压轴承已成为近年来的研究热点之一。因其具有高动态、低摩擦、高精度和无污染等优势，在精密加工、检测等领域有着良好的应用前景。从真空气体润滑方式、结构优化及实验研究等三方面入手，详述了真空气体静压轴承的国内外研究现状。对比了真空气体静压轴承相较于传统气体轴承的优缺点，同时归纳了真空气体静压轴承的常规密封方法及高效抽排方式。在此基础上分析了真空气体静压轴承在设计中存在的支承特性、结构设计、加工工艺等关键技术问题，并对真空气体轴承未来发展趋势进行了初步展望，为真空气体静压轴承的设计提供相应依据。

关键词：真空气体静压轴承；轴承密封；静态特性；结构优化；实验研究