单晶金刚石抛光工艺研究进展

王青青1,佘丁顺1,2,鲁占灵1,3(1.中国地质大学(北京)郑州研究院;2.中国地质大学(北京);3.郑州大学)

摘要:单晶金刚石以其优异的硬度、热导率和光学透过性,在众多科技领域中具有重要应用。要充分利用这些性能优势,对金刚石表面质量的要求极为严格,这使得金刚石的抛光工艺成为研究热点。本文综述了单晶金刚石抛光工艺的研究进展,重点讨论了化学机械抛光(CMP)、热力学抛光和超声波抛光等主要技术的原理、方法及其优化策略。探讨了新型抛光材料和技术的研究进展,指出了当前研究中存在的挑战,并对未来研究方向进行了展望。

关键词:单晶金刚石;抛光工艺;化学机械抛光(CMP);热力学抛光;超声波抛光