微结构化柔性压力传感器的性能增强机制、实现方法与应用优势

目录介绍

1 引言

2 柔性压力传感器类型与性能参数

2.1 类型

2.2 主要性能参数

2.2.1 灵敏度

2.2.2 响应时间

2.2.3 压力响应范围与最低检测限

2.2.4 循环稳定性

2.2.5 其他性能参数

3 微结构化传感器性能增强机制

3.1 电容式柔性压力传感器

3.2 电阻式柔性压力传感器

3.3 压电式柔性压力传感器

4 微结构制造方法

4.1 光刻模板法

4.2 天然模板法

4.3 盐析法

4.4 真空冷冻干燥法

4.5 ３Ｄ 打印法

4.6 其他方法

5 柔性压力传感器材料

5.1 柔性基材

5.1.1 非功能性支撑基材

5.1.2 自修复基材

5.2 微结构化功能层

5.2.1 碳纳米材料

5.2.2 纳米金属

5.2.3 二维材料ＭＸｅｎｅ

5.2.4 导电聚合物

5.2.5 导电水凝胶

6 应用

6.1 医疗健康与运动监测

6.2 人机交互

7 结论与展望