面向高端装备的高精度六自由度光栅干涉测量技术

周文渊1，2，孙宇佳1，刘兆武1，李文昊1（1中国科学院长春光学精密机械与物理研究所；2中国科学院大学）

摘要：光栅干涉仪以光栅栅距为测量基准，具有较强的抗环境干扰能力，并兼具精度高、分辨率高和自由度易扩展等优点，在光刻机、精密机床等高端制造装备中发挥着关键作用。系统综述六自由度光栅干涉测量技术的研究进展，依据技术特征将现有方案划分为位置敏感器件辅助测量和多读数头协同测量两类路线，深入分析不同技术路线的优势与局限性。在此基础上，展望六自由度光栅干涉测量系统的未来发展方向，期望为该领域理论体系的完善和技术创新提供参考，并助力相关应用领域实现高质量发展。

关键词：光栅干涉仪；六自由度；精密测量；高端制造装备