涡轮叶片高温薄膜传感器喷墨打印制造方法研究

刘龙斌1，2，张梦森1，2，陈翔宇1，2，朱剑琴1，2，邱璐1，2（1.北京航空航天大学 能源与动力工程学院；2.北京航空航天大学 航空发动机气动热力国家级重点实验室）

摘要：相较于溅射沉积、离子束蒸发等薄膜制造方法，采用喷墨打印直写沉积原位制造三维曲面高温多层薄膜传感器线路更为简单高效。提出一种利用喷墨打印技术精准制造薄膜传感器的方法，探究了墨水特性、打印参数、烧结参数等因素对薄膜沉积质量的影响规律，获得了陶瓷及镍基合金基底上高质量、高性能的薄膜线路。对薄膜传感器进行室温至1 100 ℃ 的标定测试，其平均赛贝克系数为46.8 μV/℃，升降温段热电特性曲线的重复率为99.96%，测量误差为±0.21%。

关键词：喷墨打印制造；涡轮叶片；高温薄膜传感器；纳米微粒烧结；高温温度测量