原子层刻蚀：工艺、材料兼容性与应用研究进展

摘要：原子层刻蚀（Atomic Layer Etching，ALE）是一种基于“表面改性-刻蚀”循环机制的原子级精度材料去除技术，凭借其单层自限性、高选择性和三维均匀性，被广泛应用于半导体制造、纳米器件加工及光电子器件开发等领域。根据刻蚀过程所需能量来源不同，ALE 技术主要分为热原子层刻蚀（T-ALE）、激光原子层刻蚀（L-ALE）、离子束原子层刻蚀（IB-ALE）和等离子体原子层刻蚀（P-ALE）。文章综述了各类ALE 技术的基本原理、工艺特征及最新研究进展，重点探讨了等离子体原子层刻蚀（P-ALE）在硅基材料、氮化硅、氧化硅及过渡金属化合物等体系中的最新应用。同时，对比国内外发展现状，提出国内ALE 技术有待突破多材料兼容性、工艺稳定性及环保前驱体开发等挑战。最后，展望了ALE技术的未来发展方向，包括激光-等离子体耦合工艺、机器学习驱动的智能化控制及低全球变暖潜能值（GWP）气体替代，为下一代原子级制造技术的研发与应用提供理论支撑。

机械 2026年08月10日 1 点赞 0 评论 34 浏览

我国高档数控机床与机器人产业十年发展回顾及展望

摘要：高档数控机床与机器人作为基础性、战略性、使能性产业，是制造强国战略提出的十大重点领域之一。为更好认识我国高档数控机床与机器人产业发展现状，谋划好新时期新阶段的发展路径，本文对过去十年高档数控机床与机器人产业发展成就进行系统回顾和总结，认为制造强国战略提出以来，我国高档数控机床与机器人产业均实现了跨越式发展，综合实力迈入全球第二梯队前列，在全球市场中的竞争力、影响力不断提升；展望未来，高档数控机床与机器人产业发展面临系列新机遇、新挑战，研究提出应围绕科技创新、技术攻关、场景融合、生态构建等方面积极探索系列超常规措施，加快推动高档数控机床与机器人创新突破、融合发展、集成应用，确保到2035年工业母机产业将整体步入世界先进行列、机器人进入世界领先行列，为实现新型工业化、建设制造强国夯实基础支撑。

机械 2026年08月10日 1 点赞 0 评论 35 浏览

热处理技术与装备的发展现状及趋势

摘要：热处理工艺在工业生产中具有重要作用。综述了热处理技术与装备的发展现状和趋势，详细分析了表面热处理、真空热处理等传统工艺的技术原理和发展现状，并重点探讨了变压渗氮、高压气冷淬火等先进技术的优势。在热处理装备方面，对比了传统“老三炉”与现代智能化热处理装备的差异。同时从自动化、绿色节能和智能化等维度，对热处理技术与装备的未来发展进行了展望。

机械 2026年08月08日 1 点赞 0 评论 46 浏览

激光增材制造异构金属材料的研究进展

摘要：激光增材制造异构金属材料具有独特的异构组织结构和强韧性机制，能够打破金属材料强度与韧性之间的传统矛盾，实现强韧性同步提升。简要介绍了异构组织及其强韧性协同机理，详细阐述了双峰结构、谐波结构、层状结构、梯度结构、双相结构等5 种典型异构金属材料的激光增材制造方法、组织演变和性能优化，归纳总结了不同异构金属材料的优缺点，提出了目前存在的问题，并对未来的研究方向进行了展望。

机械 2026年08月07日 1 点赞 0 评论 35 浏览

高温耐磨合金的研究进展

摘要：高温耐磨合金是现代工业和重大装备的关键基础材料，已开发出钴基、镍基、铁基、Ni-Al 基和Nb-Si 基合金以及高熵合金等众多合金体系，在航空航天、轨道交通、能源动力、石油化工等领域应用广泛。介绍了不同材料体系高温耐磨合金的成分特点、显微组织及性能，总结了合金的相关制备技术及其优缺点和适用范围；重点分析了合金元素和加工方式对高温耐磨合金组织及性能的影响。提出了目前高温耐磨合金存在的问题，指出未来应聚焦于合金摩擦学行为的研究和低成本、高性能替代材料的开发。

机械 2026年08月06日 1 点赞 0 评论 35 浏览

微波等离子体化学气相沉积制备金刚石厚膜的研究及应用进展

摘要：近年来，随着化学气相沉积（CVD）制备金刚石技术的发展，关于金刚石的研究与应用受到越来越多的关注。目前，主要的CVD 技术有微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）、热丝化学气相沉积、直流电弧等离子体喷射化学气相沉积和热阴极等离子体化学气相沉积等。MPCVD 技术因其生长的金刚石品质高，被认为是制备大面积、高质量金刚石厚膜的最佳方法。首先介绍MPCVD 的基本原理和设备，比较几种主要MPCVD 技术的优缺点，并对国内外的研究进展进行总结，包括金刚石生长工艺的研究，特别是国内外单晶/多晶金刚石厚膜的制备研究，然后总结近年来金刚石厚膜在电子、光学、热沉等高新技术领域的应用，最后对金刚石厚膜的发展前景进行展望。

机械 2026年08月05日 1 点赞 0 评论 46 浏览

中国热处理2035发展纲要

编者按：中国工程院咨询项目《中国热处理与表层改性技术路线图》以相变、应变-硬化和“无应力集中”抗疲劳概念为理论基础，聚焦表层硬化技术体系与产业、真空热处理技术体系和产业、特大型关键构件等13个领域，发布10年来，引领了热处理学科及行业发展。党的二十届三中全会进一步明确了到2035年我国全面深化改革总目标，需要大力推进技术创新和产业升级，提高制造业的心竞争力。为此，中国机械工程学会热处理分会围绕热处理“绿色、智能、精密、高端”的发展方向，聚焦热处理先进技术研究和学科前沿，提出了“中国热处理2035发展纲要”，为助力我国高端装备的发展提供支撑。

机械 2026年08月03日 1 点赞 0 评论 49 浏览

基于3D视觉的切割机器人路径规划研究

摘要：为提高机器人在切割工件时的精确度，对3D 视觉切割机器人进行了路径规划研究。根据3D 相机视场固定的特点，采用一种求解手眼关系矩阵的多点标定法对摄像机进行标定。将3D 相机采样得到的点云数据转化为机器人坐标系下的点云数据。针对点云数据处理，提出阈值自适应采样法，使用三次多项式对预切割空间曲线进行拟合。采用一种姿态估计算法，通过对切割微切平面进行拟合，完成切割机器人作业空间前进矢量和进给矢量的计算，将规划结果应用于机器人切割作业。实验结果表明，该系统误差在0.24 mm 以内，切割轨迹线形良好，可满足切割机器人系统的要求。

机械 2026年07月31日 1 点赞 0 评论 52 浏览

功率超声波在电弧焊接技术中的研究现状和应用进展

摘要：功率超声波具有节能、环保、高效以及可提高焊接质量等优点，在弧焊中具有广泛应用前景。概述了功率超声波在弧焊领域的发展情况，讨论了超声波的几种特殊效应以及功率超声辅助在各种焊接方法中的应用特点，并对未来超声波技术在电弧焊接中的研究方向进行了展望，希望对电弧焊接过程中的超声技术进行基础研究与工程应用的焊接学者提供一些有价值的参考。

机械 2026年07月31日 1 点赞 0 评论 45 浏览

先进硬质合金刀具涂层材料及涂层技术研究现状

摘要：随着现代化武器装备和航空航天技术的快速发展，对刀具提出了更高要求，刀具涂层材料及技术装备已成为国内外学者关注的焦点。对TiN、TiC、CrN 三种常用二元涂层的性能和特点进行了介绍；以Ti基、Al基和Cr基三元及多元涂层为例，综述了不同元素对涂层刀具性能的影响；最后概述了CVD、PVD 以及复合涂层技术的基本原理与研究现状，并提出展望。

机械 2026年07月30日 1 点赞 0 评论 78 浏览