镍及镍合金基电镀金刚石线用镀液的研究进展

张蓉1，朱董傲1，樊鹏鹏1，徐丽仙1，陈佳露1, 2，吴纪清3，王艺澄3，蒋伟1,李华明1，许晖21.江苏大学能源研究院、未来技术学院；2.江苏大学环境与安全工程学院；3.江苏美科太阳能科技股份有限公司）

摘要：[目的]电镀金刚石线是硅片切割等精密加工领域的重要工具，其性能与电镀液组分对金刚石附着力和镀层均匀性的影响密切关联。[方法]综述了氯化物、硫酸盐及氨基磺酸盐三类电镀液体系在镍及镍合金基电镀金刚石线中的研究进展。[结果]优化电镀液组分可促进金刚石颗粒的定向附着，提高镀层均匀性和致密性，从而显著提升金刚石线的切割效率与精度。[结论]未来研究应聚焦环保型镀液开发、成本降低及电镀效率提升，以满足高效精密加工的需求。

关键词：电镀金刚石线；电镀液；镍及镍合金；氯化物；硫酸盐；氨基磺酸盐；综述