中大口径光学元件超精密磨削机床研究现状

桑阳①，吴东旭①③，李保震①，侯小刚①，芦顺利①，郭磊②③，杨树明②③（①通用技术集团机床工程研究院有限公司；②西安交通大学机械工程学院；③西安交通大学-通用技术集团联合研究院）

摘要：随着空天观测、激光核聚变和极紫外光刻等关键领域高端光学元件制造需求的不断增长，我国缺乏可产业化应用的中大口径超精密光学磨削机床等装备瓶颈问题日益凸显。围绕整机结构设计、关键功能部件及工艺技术保障等方面对中大口径光学元件超精密磨削机床研究现状进行了系统分析，重点讨论了高静动态特性机床结构、静压支承技术、砂轮修整以及在位测量等关键技术的研究进展，阐述了国内该领域研究存在的问题与应对措施，展望了中大口径光学元件超精密磨床的未来发展趋势。

关键词：中大口径光学元件；光学加工；超精密机床；超精密磨削；液体静压功能部件；刀具修整及检测