高纯钼粉的制备技术及研究进展
摘要:随着电子行业的精细化发展,高纯钼因其薄膜应力小、高温稳定性好,导电性能良好,比阻抗低广泛应用于电子行业。本文系统概述了高纯钼粉的制备技术,包括高纯钼原料(钼酸铵、MoO3、MoCl5、Mo(CO)6、MoS3等)清洁化还原分解技术和普通钼粉电子束熔炼及等离子球化提纯技术,重点讨论了沉淀法、溶剂萃取法、离子交换法、结晶法等提高钼酸铵纯度的方法,指出了不同提纯方法存在的优势与不足,并就高纯钼粉制备技术及应用前景进行了总结与讨论。